華海清科
華海清科股份有限公司是一家擁有核心自主知識產(chǎn)權的高端半導體設備制造商,主要從事半導體專用設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術服務,主要產(chǎn)品為化學機械拋光(CMP)設備。公司的主要產(chǎn)品為擁有核心自主知識產(chǎn)權的CMP設備。公司也榮獲“天津市科學技術獎(技術發(fā)明)一等獎”、“中國機械工業(yè)科學技術獎(技術發(fā)明)特等獎”、“2018年度、2019年度中國半導體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術獎”、“中國好設計金獎”等榮譽。截至2021年12月31日,公司擁有國內(nèi)外授權專利209項,其中發(fā)明專利114項、實用新型專利95項,擁有軟件著作權7項;公司CMP設備已累計出貨超140臺,未發(fā)出產(chǎn)品的在手訂單超70臺,設備已廣泛應用于中芯國際、長江存儲、華虹集團、英特爾、長鑫存儲、廈門聯(lián)芯、廣州粵芯、上海積塔等國內(nèi)外先進集成電路制造商的大生產(chǎn)線中。